講演情報

[14p-P10-20]GAAナノシート型Siチャネルにおけるトラップ電荷誘起の電流変動

〇神岡 武文1、岡田 直也1、福田 浩一1 (1.産総研 SFRC)

キーワード:

ナノシート、電流ばらつき、シミュレーション


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