[15a-K102-1~1] 8.7 プラズマエレクトロニクス分科内招待講演

10:30 〜 11:45

[15a-K102-1] [分科内招待講演] 高アスペクト比ホールエッチング研究：昔から今

〇栗原 一彰¹ (1.キオクシア　先端研)

キーワード：

高アスペクト比、エッチング、半導体

本報告では現在に至るまでの高アスペクト比ホールエッチングに関連して、穴底でのプラズマ表面反応現象を観察する手法の研究開発状況などに関して紹介する予定である。