[15a-K302-1~11] 13.9 化合物太陽電池

11:00 〜 11:15

[15a-K302-8] 圧力勾配スパッタ法により製膜したCIGSe太陽電池裏面コンタクト用LiドープNiO薄膜の特性

〇橋本 雅喜¹、阿部 鷹介¹、西村 昂人¹、山田 明¹ (1.科学大工)

キーワード：

太陽電池、スパッタリング

CIGSe太陽電池の変換効率は、バルク品質およびバッファ界面品質の改善によって23.6 % まで達成している。さらなる変換効率改善のために、CIGSe太陽電池の裏面コンタクトに、LiドープのNiO (NiO:Li) を挿入することを提案する。本講演では、NiO:Li薄膜を圧力勾配をかけない方式と、圧力勾配スパッタによって製膜し、これらのスパッタパワー依存性について検証したため報告する。