2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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10:30 〜 10:45
[15a-K501-2]
SiGe超薄膜界面層によるSi薄膜の熱伝導率低減
〇小田島 綾華
1,2
、柳澤 亮人
1
、澤野 憲太郎
1,2
、野村 政宏
1
(1.東大生研、2.東京都市大)
キーワード:
シリコンゲルマニウム、熱電デバイス
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