講演情報

[15a-K501-2]SiGe超薄膜界面層によるSi薄膜の熱伝導率低減

〇小田島 綾華1,2、柳澤 亮人1、澤野 憲太郎1,2、野村 政宏1 (1.東大生研、2.東京都市大)

キーワード:

シリコンゲルマニウム、熱電デバイス