[15a-P06-1~13] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[15a-P06-13] スパッタとスピンオンドーピングにより形成したTOPCon型太陽電池プリカーサの作製

〇大森 康生¹、Li Shasha¹、宮島 晋介¹ (1.東京科学大学)

キーワード：

TOPCon 太陽電池、SIH4フリープロセス、スピンオンドーピング