講演情報
[15p-K203-6]硬X線光電子分光法（HAXPES）の産業利用
〇吉木 昌彦1 (1.東芝研開セ)
キーワード：
硬X線光電子分光法、放射光、産業利用
硬X線光電子分光法（HAXPES）は表面から深さ数10 nmの領域における元素、組成および化学結合状態を非破壊で分析できることから、近年、産業界でも利用が増加している。本講演では高強度の放射光X線を利用したHAXPESの特長と産業利用におけるポイント、および弊社における応用例のほか、産業界ユーザーがHAXPESを利用する方法について紹介する。