講演情報
[15p-K210-3]プロトン交換層を用いた128°YX-LiNbO3基板のSAW横モード抑圧
〇(B)川原 雅広1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1 (1.山梨大)
キーワード:
弾性表面波、横モード抑圧、プロトン交換
<!--StartFragment-->本研究では,プロトン交換層を電極指先端部に設けることによる新しい横モードの抑圧方法を提案する.基板としてレイリー型SAWに対する電気機械結合係数が大きい128°YX-LiNbO3を用いて,提案構造の横モードを含む共振特性を有限要素法により解析した結果を報告する.<!--EndFragment-->