[15p-K304-1~11] 3.7 光計測技術・機器

18:15 〜 18:30

[15p-K304-9] 瞳位置に開口付き波長板を配置した微細表面異常検出イメージング

〇吉木 啓介^1,2、吉村 憲久² (1.高知工大総研、2.シーシーエス株式会社)

キーワード：

瞳分割偏光技術、ナノ表面形状測定、マシンビジョン

本研究では，対物レンズの背面にリング状のλ/2板を配置し，平面からの正反射では偏光状態に変化がない一方で，段差・傾斜表面異常時には偏光成分が変化する。この変化成分を抽出することで，nmオーダーの表面変化や欠陥を高感度に可視化できる。本手法は簡便かつ高速に微細凹凸・傾きを検出でき，従来の干渉計測を超える性能で製品化された。実験とシミュレーションで一致し，ウエハ研磨面を非常に高コントラストに観察できる。