講演情報
[15p-K305-11]プラズマ加工技術を利用した電気駆動用ランダム構造の作製
〇藤原 英樹1、Shi Quan2、梶田 信2、大野 哲靖3、田中 宏彦3、上原 日和4 (1.北海学園大、2.東大、3.名大、4.核融合研)
キーワード：
窒化ガリウム、プラズマ加工、ランダムレーザー
前回の発表ではZnOナノ粒子膜を水熱合成したp型GaN基板にFTO基板を圧着することにより、電気駆動可能なランダム構造を作製した。これに対し今回の発表では、プラズマ加工技術を用いてp型GaN基板の表面に直接凹凸構造を作製し、FTO基板を圧着するだけのシンプルな構造を提案する。