[15p-K503-1~15] 6.1 強誘電体薄膜

15:30 〜 15:45

[15p-K503-10] 強誘電性ペロブスカイト型RbTaO₃薄膜作製の検討

〇増田 達也¹、増田 歩^1,2、山本 文子³、安井 伸太郎²、濵嵜 容丞⁴、江原 祥隆⁴、伊藤 満²、森分 博紀^1,2 (1.JFCC、2.科学大、3.芝浦工大、4.防衛大)

キーワード：

強誘電体薄膜、タンタル酸ルビジウム