[15p-K503-1~15] 6.1 強誘電体薄膜

14:15 〜 14:30奨励賞エントリー

[15p-K503-6] 大気圧40 ºC合成した自己分極(001)配向正方晶強誘電体エピタキシャル薄膜の作製とその特性評価

〇古賀 彩月¹、胡 雨弦¹、白石 貴久²、岡本 一輝¹、舟窪 浩¹ (1.科学大、2.熊本大学)

キーワード：

強誘電体、薄膜、低温溶液合成法

我々は、粉末原料と強アルカリ溶液を出発原料とし、大気圧下70 ºCで正方晶の(Bi,K)TiO₃(001)配向のエピタキシャル膜の作製成功した。本手法は従来の合成法と比較して極めて簡易的なプロセスで、低温での製膜が可能となる。今回は下部層と膜の格子整合性を高めることで、より低温での成膜の可能性を検討した。本研究では自己分極した(001)配向のエピタキシャルPbTiO₃膜を大気圧下の40 ºCで作製し、結晶構造と電気特性の評価を行ったので報告する。