[15p-K505-9~18] CS.2 3.10 フォトニック構造・現象、3.13 シリコンフォトニクス・光電融合集積・光制御のコードシェア

17:15 〜 17:30

[15p-K505-14] SiフォトニクスSLGスキャナ搭載FMCW LiDARの損失補償として、二光子吸収のないSiN導波路とSiN MRR波長スイッチを提案。実験で28 dBm入力時にSiN/Si結合部が破損し、損傷がSiN導波路側に広がる現象を確認しました。この挙動はファイバフューズ現象に類似しています。

〇小松 慶喜¹、玉貫 岳正¹、鎌田 幹也¹、名和 翔太¹、馬場 俊彦¹ (1.横国大院工)

キーワード：

SiN、マイクロリング共振器、シリコンフォトニクス