[15p-P02-1~17] 3.7 光計測技術・機器

[15p-P02-4] 可視光広帯域光源を用いた光干渉断層計による金属酸化過程の高分解能非破壊・非接触観察

〇小馬 啓輔¹、尾崎 信彦¹、細田 真希²、宮地 邦男² (1.和大シス工、2.シンクランド㈱)

キーワード：

光干渉断層計、非破壊構造測定、可視光光干渉断層計