講演情報

[15p-P05-15]パターン加工されたCu-Ni 合金薄膜上におけるグラフェン成膜・評価

〇富成 征弘1、鈴木 仁2、田中 秀吉1 (1.情通機構、2.広島大先進理工)

キーワード:

グラフェン、CVD、Cu-Ni合金