2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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[15p-P05-15]
パターン加工されたCu-Ni 合金薄膜上におけるグラフェン成膜・評価
〇富成 征弘
1
、鈴木 仁
2
、田中 秀吉
1
(1.情通機構、2.広島大先進理工)
キーワード:
グラフェン、CVD、Cu-Ni合金
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