2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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[15p-P05-16]RFマグネトロンスパッタリングを用いた多層グラフェンの絶縁体上合成

〇村田 博雅1、村上 勝久1、長尾 昌善1 (1.産総研)

キーワード：

多層グラフェン、スパッタリング

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