[15p-P05-1~62] 17 ナノカーボン・二次元材料（ポスター）

[15p-P05-16] RFマグネトロンスパッタリングを用いた多層グラフェンの絶縁体上合成

〇村田 博雅¹、村上 勝久¹、長尾 昌善¹ (1.産総研)

キーワード：

多層グラフェン、スパッタリング