2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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[15p-P05-41]
円状パターニングMoO
3
供給基板を用いたMoS
2
のCVD合成
〇中村 空海
1
、田中 瑞貴
1
、安藤 淳
2
、山本 伸一
1
(1.龍谷大先端理工、2.産総研)
キーワード：
二硫化モリブデン
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