講演情報

[15p-P05-43]金属塩化物を前駆体とする単層MoS2のCVD合成

〇(D)山本 快知1、深町 悟1、吾郷 浩樹1,2 (1.九大院総理工、2.九大半導体セ)

キーワード:

二硫化モリブデン、CVD