講演情報
[15p-P06-13]２次元計測データよる誘電体薄膜材料探索効率化と既存データとの連携の検討
〇長田 貴弘1、木野 日織1、河野 敬1、尾崎 仁亮2、池田 潤2 (1.NIMS、2.村田製作所)
キーワード：
２次元X線回折、変分オートエンコーダ、誘電体薄膜
我々は、薄膜材料開発において物性理解に重要な手法である２次元X線回折手法の2次元データの自動解析手法として非負値行列因子分解で分類し、変分オートエンコーダでその関係性を可視化する方法を提案している。本手法を高誘電体薄膜材料に適用し、NIMSのデータベースAtomWork-Adv.から作成したマテリアルマップと比較を行った結果、構造と誘電率の傾向が一致する領域に対して、薄膜の準安定構造は異なる傾向を示すことがわかった。