講演情報
[15p-P06-5]分子計算と機械学習によるSi表面に対する低吸着エネルギー分子のデータ駆動型探索
〇村島 広衛1、魚波 公希1、國枝 省吾1、塙 洋祐1、佐々木 悠太1、上島 仁2、新谷 俊了2、吉田 亮3 (1.SCREEN ホールディングス、2.システム計画研究所、3.統計数理研究所)
キーワード：
機械学習、マテリアルズインフォマティクス、半導体
半導体デバイスの微細化が進み、半導体洗浄プロセスの乾燥工程にて微細パターンが倒壊する問題が深刻化している。昇華乾燥法により抑制できることが知られているが課題の一つとして有機残渣があり、膨大な数の候補材料から効率的な材料探索手法の開発が求められている。本研究では、吸着エネルギー値を予測するサロゲートモデルとMatlantisを用いた物性計算による自動探索手法からSi基板表面に対する低吸着エネルギー分子の探索を行った。