講演情報
[15p-P07-14]白金電極上のバリウムフェライト垂直磁化膜の作製とトンネル伝導特性の評価
〇(M2)足立 亮太1、田中 雅章1、小見山 遥2、小野 輝男2、日原 岳彦1、壬生 攻1 (1.名工大工、2.京大化研)
キーワード：
スピントロニクス、薄膜、バリウムフェライト
強磁性絶縁体バリウムフェライト（BaM）薄膜はPt薄膜上で大きな垂直磁化を示すが、表面平坦性が悪くMTJ素子への応用が難しい。本研究では、温度の急速昇降が可能な赤外線炉を用いてアニール処理を行い、結晶配向性、垂直磁化、表面平坦性の良いバリウムフェライト超薄膜の作製条件を調査した。また、最適な条件で作製したBaM薄膜の電気伝導特性の結果より、トンネル伝導を示す3次関数的な変化の観測に成功した。