[15p-P12-1~40] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[15p-P12-19] SnO₂ターゲットを用いて還元スパッタ成膜したp型SnOの表面観察

〇小林 翔¹、木菱 完太¹、辛 佳和¹、相川 慎也¹ (1.工学院大工)

キーワード：

還元スパッタリング、酸化物半導体