講演情報

[15p-P12-20]p型TaドープSnO薄膜の作製および薄膜トランジスタ応用

〇辛 佳和1、山寺 真理1、高橋 司1、相川 慎也1 (1.工学院大工)

キーワード:

一酸化スズ、Ta、p型