[15p-P12-1~40] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[15p-P12-33] スパッタ条件調整による極性In2O3(100)面の優先成長

〇(B)海老澤 雄一朗¹、小林 亮太¹、車 振赫²、相川 慎也¹ (1.工学院大工、2.全南大)

キーワード：

センサー、二酸化炭素、トランジスタ