講演情報
[16a-K101-6]ミリメートルスケールでのα-MoO3単結晶の成長
〇小川 友以1、Krockenberger Yoshiharu1、河野 慎1、Erkilic Ufuk1、谷保 芳孝1 (1.NTT 物性科学基礎研)
キーワード：
MoO3、単結晶、High-k二次元絶縁材料
二次元物質のデバイス応用においてHigh-k二次元絶縁体として注目される三酸化モリブデン（MoO3）について、Moを原料として、Ar雰囲気中で微量の酸素源を加えることで、ミリメートルスケールで高品質かつ大量合成に向けた成長技術を提案する。EDS、XRD、Ramanの解析からミリメートルスケールで単結晶のα-MoO3が成長していることが分かった。