2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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10:30 〜 10:45
[16a-K308-6]
分子動力学シミュレーションによるTiOx/Siヘテロ構造のパッシベーション性能向上機構の解明
〇道下 悠登
1
、深谷 昌平
1
、上根 直也
2
、後藤 和泰
1,3,4
、徳増 崇
2
、宇佐美 徳隆
1,5
(1.名大院工、2.東北大流体研、3.新潟大工、4.新潟大 IRCNT、5.名大未来機構)
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キーワード:
TiOx
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