[16a-K505-1~9] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

9:30 〜 9:45

[16a-K505-3] 機械学習分子動力学シミュレーションによる LSI 配線金属／絶縁体界面の熱抵抗評価

〇(B)久保田 翔¹、西村 祐亮¹、内藤 真慈¹、渡邉 孝信¹ (1.早大理工)

キーワード：

配線、熱抵抗、機械学習分子動力学計算

本研究では、Ru/SiO₂界面に交差するRu結晶粒界がRu/SiO₂界面の熱抵抗に与える影響について、ニューラルネットワークポテンシャルに基づく機械学習分子動力学計算を行った。その結果、界面熱抵抗は配線金属の粒界サイズに依存しないことが明らかとなり、配線材料そのものを見直すことが熱問題の解決に有効であることがわかった。