講演情報
[16a-K506-8]フッ素レーザーを用いた非晶質炭素膜の光化学的透明化
〇大越 昌幸1、奥園 聡史1 (1.防衛大電気電子)
キーワード：
非晶質炭素、透明化、F2レーザー
本報告では、波長157 nmのF2レーザーを用いてa-C薄膜の表面を光励起し、同時に大気中の酸素分子O2を励起一重項酸素原子O(1D)に光分解した。その結果、O(1D)原子は三重項酸素原子O(3P)よりも薄膜中のsp2炭素を優先的に光化学エッチングできることがわかった。また、a-C薄膜の表面層が光化学的に透明に改質されていることも見出した。X線光電子分光法では、sp2炭素に由来するC 1sピークの強度が減少した。また屈折率も若干低下したが、これは膜密度の低下によるものと考えられる。さらに透明に改質されたa-C薄膜は、基板加熱に伴い電気抵抗率が低下し、低バンドギャップ性を示した。