[16a-K508-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

9:30 〜 9:45

[16a-K508-3] 原子論的計算に基づくRuのサイズ効果の解析

〇田中 貴久¹ (1.慶大理工)

キーワード：

ルテニウム、抵抗率