[16p-K101-1~9] 極薄物質で本当に良いセンサーができるのか？～ナノチューブ・二次元材料を用いた分子センシングの現状と課題～

14:05 〜 14:35

[16p-K101-3] 両極性カーボンナノチューブトランジスタによるガスセンシング

〇稲葉 優文¹、中野 道彦¹、末廣 純也¹ (1.九大シス情)

キーワード：

カーボンナノチューブ、ガスセンサ、電界効果トランジスタ

我々のグループでは、ある程度カイラリティのそろったカーボンナノチューブ（CNT）を用いたFET型ガスセンサの開発を目指し、CNTへのガス応答の報告が多いNO₂を検出対象とした電気特性評価を行っている。本発表では、CNTをチャネルにもつ両極性FET型ガスセンサにおけるガス応答性について、電流電圧特性の観点から調査した内容について報告する。