講演情報
[16p-K204-3][第57回講演奨励賞受賞記念講演] GHz帯超音波パルスエコー法を用いたScAlN、ZnO、GaN圧電薄膜や金属膜の機械的Qm値評価手法
〇島野 耀康1,2、柳谷 隆彦1,2 (1.早大先進理工、2.材料技術研究所)
キーワード：
Q値、BAWフィルタ、ScAlN
無線バンドが密集する帯域においてRFフィルタの急峻性を示す品質係数Q値は重要な評価指標の一つである。本研究では薄膜のIntrinsicな機械的品質係数Qmを評価する方法を提案する。基板上の超音波トランスデューサに対して基板裏面に被測定膜を作製し、基板底面および被測定膜底面から反射する音波を比較することによって減衰定数を見積る。本報告では、産業的な需要も高いScAlN膜のQmのSc濃度依存性をはじめ、その他GaNやZnOなどの圧電薄膜、そして金属膜やアモルファス膜など様々な材料のQmを調査した。また、今まで評価が困難であった、結晶配向性がQmに寄与する影響に関しても調査した。