講演情報
[16p-K204-4]移動通信システム用弾性波デバイスの高性能化
〇垣尾 省司1 (1.山梨大)
キーワード:
弾性波デバイス、異種材料接合
本講演では、まず弾性波デバイスの動作原理と移動通信システム用途に要求される特性を概説し、次に弾性波デバイスへの異種材料接合技術の適用例とそれらの特徴を示す。最近活発に開発されている分極反転層を積層させたデバイスについても触れる。最後に著者らが開発した圧電薄板と水晶支持基板との異種材料接合による弾性表面波デバイスの高性能化などを紹介する。
弾性波デバイス、異種材料接合