講演情報

[16p-K205-2]先端ロジックデバイスの技術動向とLSTCでの取り組み

〇平本 俊郎1、若林 整2 (1.東大生研、2.東京科学大学)

キーワード:

半導体、先端ロジック、LSTC

本講演では,ロジック半導体デバイスの動向とLSTCにおける研究開発の取り組みを紹介する.