[16p-K205-1~10] カーボンニュートラルを実現する半導体低消費電力化技術の最前線

14:05 〜 14:35

[16p-K205-4] 極省電力ナノワイヤ3次元集積回路基盤技術の創成

〇冨岡 克広¹、浜屋 宏平²、井上 弘士³ (1.北大院情報科学および量子集積センター、2.阪大基礎工 CSRN & OTRI、3.九大システム情報)

キーワード：

半導体ナノワイヤ、3次元集積回路

本報告では，半導体ナノワイヤ縦型デバイスを基本とした3次元集積回路の基盤技術の最近の進展について紹介する．