講演情報
[16p-K209-2]TES型マイクロカロリメータのエネルギー分解能向上に向けた超伝導転移温度のコントロール
〇奥村 華子1,2、中野 祥大2,3、田中 圭太2,3、八木 雄大2,3、林 佑4、山崎 典子1,2,3、正光 義則5 (1.北里大学、2.ISAS/JAXA、3.東京大学、4.立教大学、5.KEK)
キーワード：
転移端センサ
TES型マイクロカロリメータは温度計部分に金属の超伝導-常伝導転移を利用することで高いエネルギー分解能を達成可能なX線マイクロカロリメータの一種である。分解能の向上のためには温度計の転移温度を低くすることが重要である。転移温度は使用する金属薄膜の厚みや膜厚比、成膜条件に左右され、その制御プロセスは未だ確立されていない。本発表では、転移温度制御に向けて行った実験の詳細について発表する。