講演情報
[16p-K209-6]TiN薄膜を用いた集中定数力学インダクタンス検出器の高感度化
増岡 佑人1、成瀬 雅人1、〇明連 広昭1 (1.埼玉大院)
キーワード：
集中定数力学インダクタンス検出器
MKIDsの医療分野への応用として、新たに中赤外光を利用した蛍光寿命イメージング顕微鏡法への応用が検討されており、これにより本研究は中赤外光の単一光子の検出のためのLEKIDsの作製を目的としている。本研究では、薄膜化、細線化に伴うインダクタンス部の体積減少によって、中赤外の単一光子に対する周波数シフトの変化量が大幅に増大することが確認できた。