講演情報
[16p-K309-1]TFLN導波路用グレーティングカプラの構造最適化(Ⅲ)
〇北原 凌成1、吉田 凌一1、羽中田 祥司1、田原 直樹1、馬場 俊彦1 (1.横国大院工)
キーワード：
TFLN導波路、グレーティングカプラ、最適化
薄膜ニオブ酸リチウム (TFLN) 導波路用グレーティングカプラについては，上下対称放射やモード不整合があるため結合効率が30%台と低く，高効率化が課題であった．今回はSiO2クラッドを形成しない実験を想定し，下はSiO2，上は空気という状況を仮定した．このような非対称クラッドの場合，一般に効率は低下する．さらに，実際のエッチング側壁角度を精密に考慮に入れて，最適化を行った．