講演情報
[16p-K406-10]フレキシブル有機薄膜センサの作製と円筒面ラミネーション
〇今村 弘毅1、宮川 和典1、後藤 正英1、佐藤 弘人1 (1.NHK技研)
キーワード：
フレキシブル有機薄膜センサ、薄膜封止、円筒面ラミネーション
湾曲した状態で撮像動作が可能なフレキシブル有機薄膜センサは，湾曲耐性に優れ，大面積化にも有利であることから，空間のさまざまな情報を捉えるための新たなデバイスとして有用である．今回，上部に透明電極を適用した有機薄膜と大気中の水分や酸素から有機薄膜を保護するための薄膜封止を用いてフレキシブルセンサを作製するとともに，円筒面にラミネーションするプロセスを構築し，湾曲した状態での撮像動作を確認した．