講演情報

[16p-K406-2]真空蒸着有機膜の巨大表面電位とエンタルピー緩和

〇辻岡 強1、川島 弘之2、小池 健仁2、松本 直樹2、沈 君偉3、中村 振一郎3 (1.大阪教育大学、2.東ソー(株)、3.熊本大学)

キーワード:

巨大表面電位、真空蒸着、エンタルピー緩和

真空蒸着有機膜において現れる巨大表面電位(GSP)において、ガラス転移点(Tg)と基板温度(Tsub)、表面電位および膜のエンタルピー緩和との関係について報告する。様々なGSP材料をTsubを変化させて蒸着し、表面電位を測定したところ、Tsub=Tg×0.8~0.85で表面電位は極大となった。またその時の膜はエンタルピー緩和が最大となることが判明した。