[16p-K504-1~15] 6.4 薄膜新材料

13:45 〜 14:00奨励賞エントリー

[16p-K504-4] Al₂O₃基板とCaO犠牲層を用いた強誘電BaTiO₃自立膜の作製

〇陳 荻文¹、Zhou Weikun¹、三津谷 怜¹、太田 裕道²、片山 司^2,3 (1.北大情報科学院、2.北大電子科学研究所、3.JSTさきがけ)

キーワード：

自立膜