[16p-P05-1~20] 12.2 評価・基礎物性

[16p-P05-7] 静電スプレーエッチングされたTIPS pentacene結晶のラマン分光測定

〇(B)徐 超¹、親松 謙臣¹、徐 晋¹、小野島 紀夫¹ (1.梨大工)

キーワード：

有機トランジスタ、TIPS ペンタセン、ラマン分光測定

有機電界効果トランジスタの製作において，寄生抵抗を低減するために，静電スプレーエッチングを用いて有機半導体材料TIPS pentaceneを部分的にエッチングした．エッチングによるTIPS pentacene結晶への影響をラマン分光測定を用いて評価した．その結果，静電スプレエッチングはTIPS pentaceneの結晶性に悪影響を与えない優しいプロセスということがわかった．