2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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[16p-P07-1]
スピントロニクス応用へ向けたGeSn薄膜のスパッタリング法による作製と評価
〇(M1)河原林 雄大
1
、石川 諒
2
、吉田 健琉
3
(1.阪大院工、2.アルバック協働研、3.大和大理工)
キーワード:
GeSn、スピントロニクス、スパッタ
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