[16p-P07-1~8] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[16p-P07-8] パターニングSi(111)基板上に成長した緩和SiGeバッファー層の結晶評価と電気伝導特性

〇吉田 雄一¹、武井 爽一郎¹、澤野 憲太郎¹ (1.東京都市大学)

キーワード：

パターニング、Si(111)、SiGe