[16p-P08-1~7] 6.1 強誘電体薄膜

[16p-P08-3] AlN-ScN-GaN膜の成膜検討および圧電特性への影響について

〇幸田 陽一朗¹、正能 大起¹、上岡 義弘¹、召田 雅実¹ (1.東ソー（株）)

キーワード：

圧電材料、圧電特性、AlScN

BAWフィルターは、スマートフォンに代表される移動体通信機器の電波送受信に使われ、
その性能は圧電材料の特性に左右されるが、2030年代に導入を予定しているBeyond5G(6G)
の実現に向けては、さらに高い特性を有する材料の開発が求められる。
本研究ではAlN-ScN-GaN膜の成膜条件検討を行い、また膜組成を変化させた場合の
圧電特性に与える影響を調査したので報告する。