[16p-P09-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[16p-P09-12] アモルファス炭素薄膜を用いたQCMガスセンサによる一酸化炭素の検出

〇一條 瑛巴¹、松田 昂大¹、植村 皇介¹、金杉 和弥¹、石黒 康志²、大澤 敦¹、平栗 健二¹ (1.電機大、2.防衛大)

キーワード：

アモルファス炭素、ガスセンサ、QCM