[16p-P11-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

[16p-P11-11] 探針増強ラマン分光用Au蒸着カンチレバー探針の作製と性能評価(2)

〇李 碩磊¹、小林 圭¹ (1.京大工)

キーワード：

探針増強ラマン分光

走査型プローブ顕微鏡とラマン分光法を組み合わせた探針増強ラマン分光法は、高度な分析手法の一つとしてナノスケールで試料の表面形状や物理情報に加え、分子情報としてのラマンスペクトルを同時に取得できる。TERS信号強度の向上や測定の再現性の確立には、探針先端のAu薄膜の品質の最適化が必要である。今回は抵抗加熱およびスパッタによりカンチレバー探針へAuを蒸着し、その結果について報告する。