講演情報
[16p-P13-2]熱ALD法におけるBN成膜機構解析に向けた反応性分子動力学法力場の構築
〇(M1)後藤 星南1,2、徳増 崇2 (1.東北大院工学研究科、2.東北大流体研)
キーワード：
分子動力学シミュレーション、窒化ホウ素
本研究は反応性力場分子動力学法を用いたシミュレーションにより、BCl3とNH3からのBN-ALDプロセスの膜成長メカニズムの解明および成膜に適した温度の計算に向けた反応性力場の構築を目的とする。本研究ではBN-ALDに対応した反応性力場開発に向けて最適化パラメータの選択とDFT計算によるデータセットの作成を行った。結果として最適化処理の効率化に成功し、かつ化学反応性を表現することができた。