2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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[16p-P15-5]
2段階硫化法がSnS薄膜の結晶性や組成比に与える影響
〇笠 春輝
1
、土山 岳斗
1
、杉山 睦
1,2
(1.東理大 創域理工、2.東理大 総研)
キーワード:
SnS、硫化、結晶成長
本研究では、 結晶品質向上と組成比制御の両立に向けた2 段階硫化により得られたSnS薄膜の、各硫化温度や硫化時間が与える影響を検討した。
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