[17a-Y1311-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

11:00 〜 11:15

[17a-Y1311-8] α-Ga₂O₃フォトニック結晶へのSnドープ効果

〇藤田 健斗¹、大塚 知紀¹、松田 竜一²、渡辺 俊哉²、太田 早紀²、金子 健太郎³ (1.立命館大理工、2.三菱重工業（株）、3.立命館大半導体応用研究センター)

キーワード：

酸化ガリウム、ミストCVD、Snドープ