セッション詳細

[15p-P08-1~2]13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

2025年3月15日(土) 16:00 〜 18:00
P08 (森戸記念体育館)

[15p-P08-1]フレキシブルエレクトロニクスに向けた単結晶シリコン基板のMEMS微細加工によるフレキシブル化

〇山根 秀勝1、山田 義春1、近藤 裕佑1、村上 修一1 (1.大阪技術研)