[15p-P08-1~2] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[15p-P08-1] フレキシブルエレクトロニクスに向けた単結晶シリコン基板のMEMS微細加工によるフレキシブル化

〇山根 秀勝¹、山田 義春¹、近藤 裕佑¹、村上 修一¹ (1.大阪技術研)

キーワード：

フレキシブル、シリコン、MEMS